JIS H0609-1994 在优选的腐蚀工艺下硅晶体损害的试验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-10 12:31:09 浏览:9907
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【英文标准名称】:Testmethodsofcrystallinedefectsinsiliconbypreferentialetchtechniques
【原文标准名称】:在优选的腐蚀工艺下硅晶体损害的试验方法
【标准号】:JISH0609-1994
【标准状态】:作废
【国别】:日本
【发布日期】:1994-01-01
【实施或试行日期】:1994-01-01
【发布单位】:日本工业标准调查会(JISC)
【起草单位】:Electronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:准金属;矽;蚀刻;材料有屑加工;孔;直线;硅;晶体;晶体缺陷;无损检验;密度;腐蚀检查;测量
【英文主题词】:etchinspection;non-destructivetesting;holes;etching;material-removalprocesses;density;measurement;lines(geometry);;;crystals;crystaldefects
【摘要】:
【中国标准分类号】:H25
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:13P;A4
【正文语种】:日语
【原文标准名称】:在优选的腐蚀工艺下硅晶体损害的试验方法
【标准号】:JISH0609-1994
【标准状态】:作废
【国别】:日本
【发布日期】:1994-01-01
【实施或试行日期】:1994-01-01
【发布单位】:日本工业标准调查会(JISC)
【起草单位】:Electronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:准金属;矽;蚀刻;材料有屑加工;孔;直线;硅;晶体;晶体缺陷;无损检验;密度;腐蚀检查;测量
【英文主题词】:etchinspection;non-destructivetesting;holes;etching;material-removalprocesses;density;measurement;lines(geometry);;;crystals;crystaldefects
【摘要】:
【中国标准分类号】:H25
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:13P;A4
【正文语种】:日语
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